真空泵有哪几种类型？

真空泵可以分为以下几种类型：

1. 机械泵：利用机械运动将气体抽出，常见的有旋片泵、齿轮泵、螺杆泵等。

2. 分子泵：利用分子间的碰撞将气体抽出，常见的有扩散泵、离子泵等。

3. 吸气泵：利用气体分子在固体表面的吸附作用将气体抽出，常见的有吸附泵、离子阱泵等。

4. 蒸发泵：利用液体蒸发产生气体压力差将气体抽出，常见的有液态氮泵、液态氦泵等。

5. 陶瓷泵：利用陶瓷材料的特殊性质将气体抽出，常见的有陶瓷转子泵、陶瓷膜泵等。