如题所述
真空泵的类型非常多,划分方法也多样:
按工作原理分:容积变化泵(如旋片泵、涡旋泵等);动量传输泵(如分子泵、扩散泵等);吸附捕集泵(如低温泵、离子泵、吸气剂泵)
按工作介质分:干式泵(如涡旋泵、分子泵、离子泵等)和非干式泵(如旋片泵、扩散泵等)
按真空度分:低真空泵(如旋片泵、涡旋泵、罗茨泵等)、高真空泵(如分子泵、扩散泵、低温泵等)、超高真空泵(如离子泵、钛升华泵、吸气剂泵等)