单级旋片式真空泵的真空度

如题所述

单级旋片式真空泵的真空度只能到达1*10-2托,不能到达再高的原因是:
1、泵的布局上存在“有害空间”,空间中的气体是无法排除的。当旋片转过排气口后,这一有些气体又被紧缩,经过转子与泵腔间的缝隙又回到吸气空间,所以,“有害空间”越小,泵极限真空度越高。
2、泵腔被旋片分隔变成两有些:排气空间与吸气空问,两者间存在着必定的压强差。当排气空间的气体被紧缩得很小时,压弧很高,会经过各种可能的路径打破到吸气空间去,使真空度下降。
3、泵油在泵体内循环活动进程中会溶解进很多气体和蒸气。在吸气空间,因为压强较低,溶解的气体又会跑出来,使泵的真空度不易进步。
为了提高泵的极限真空度,除了提高泵体、转子、旋片的加工精度,尽量削减安装空隙和有害空间以外,普诺克真空可以认为最有用的办法是将两只单级泵串接起来,组合成双级泵。这样,极限真空度将提高,可达10-4托(进口真空泵可到达10-5托)。
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