原子力显微镜是用一端固定而另一端装有纳米级针尖的弹性微悬臂来检测样品表面形貌的。当样品在针尖下面扫描时,同距离密切相关的针尖-样品相互作用就会引起微悬臂的形变。它不但能观察导体和半导体材料的表面现象,而且能用来观察诸如玻璃、陶瓷等非导体表面的微观结构,原子力显微镜还可以在气体、水和油中无损伤地直接观察物体,大大地拓展了显微技术在生命科学、物理、化学、材料科学和表面科学等领域中的应用,具有广阔的应用前景。选择原子力显微镜,可以考虑Park NX-Wafer。
Park NX-Wafer的优势:
1、全自动AFM解决了缺陷成像和分析问题,提高缺陷检测生产率达1000%。帕克的智能ADR技术提供全自动的缺陷检测和识别,使得关键的在线过程能够通过高分辨率3D成像对缺陷类型进行分类并找出它们的来源。智能ADR专门为半导体工业设计提供最先进的缺陷检测解决方案,具有自动目标定位,且不需要经常损坏样品的密集参考标记。
2、超高精度和最小化探针针尖变量的亚埃级表面粗糙度测量。
3、用于精确、高吞吐量CMP轮廓测量的低噪声原子力轮廓仪。
想要了解原子力显微镜的相关信息,推荐咨询Park原子力显微镜。韩国帕克股份有限公司(Park)成立于1988年,是全球第一个推出商业原子力显微镜产品的上市公司。;成立30多年来,始终致力于纳米领域的形貌&力学测量和半导体先进制成工艺的计量的新技术新产品的开发。其中,Park独有的技术是将XY和Z扫描器分离,实现探针与样品间的真正非接触,避免形貌扫描过程中因探针磨损带来的图像失真,快速成像还可以大大提高测试效率,降低实验测试成本。
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