涡轮分子泵抽气系统。涡轮分子泵可以串联干式机械泵组成无油超高真空系统，不烘烤可以实现10-6Pa的真空度，经烘烤可以达到10-8Pa的真空度。如果串联扩散泵作为前级泵，降低前级管道中的氢分压，配合钛升华阱可以获得高于10-9Pa以上的真空度。由于涡轮分子泵内表面积大，因此烘烤除气是非常必要的，但烘烤温度一般只允许到100℃左右。
溅射离子泵无油超高真空系统。此系统是获得清洁超高真空的主要手段，可以获得10-9Pa的真空度，一般由溅射离子泵、钛升华泵与分子筛吸附泵或者是与涡旋泵、液氮阱等共同组成，可以获得清洁的无油超高真空系统。由于溅射离子泵的启动压力在1Pa以下，而且对有机蒸汽敏感，因此在使用时需要对其进行彻底的烘烤除气，并用预抽泵抽走烘烤释放出的气体。
低温泵抽气系统。低温泵抽气系统用低温泵作为主泵，并联或串联分子筛吸附泵，也可以用机械泵作为预抽真空泵，但若是油封机械泵就必须在机械泵的入口管路上设置油蒸气捕集器。低温泵抽气系统不产生碳氢化合物、金属膜的剥落碎片以及自身带来的气体污染，是一种清洁的抽气手段。20K的低温泵可以得到10-8Pa的真空度，4.2K的低温泵可以得到10-10∼10-12Pa的真空度。
除了上述这些，根据不同的应用需要与特点，也可以通过组合系统来实现更细致的需求。
超高真空系统类型有几种：
①用扩散泵和钛泵并联为主泵，扩散泵单独串联前级机械泵的真空系统。
②由扩散泵串联扩散泵（中间泵），再串联机械泵的真空系统。
③主泵为分子泵串联机械泵的真空系统，串联分子筛吸附泵（前级泵），则构成了无油超高真空系统。
④用钛泵或溅射离子泵做为主泵，并联或串联分子筛吸附泵（做为预真空泵），构成无油超高真空系统。
⑤用低温泵做为主泵，串联或并联分子筛吸附泵（预真空泵），构成无油超高真空系统。pronotek
超高真空系统类型有哪些?
1. 扩散泵系统 由扩散泵、串联机械泵及冷阱等构成，是实现超高真空的关键泵种。在超高真空获取过程中，需解决扩散泵油、机械泵油的返流污染及油热分解产生的气体返流问题。通过液氮冷阱捕集泵油返流，钛升华阱捕集泵油分解气体，良好的污染控制下，可达到10^-10Pa的真空度。2. 涡轮分子泵抽气系统...
【真空知识】五种常见的超高真空系统简介
本文章为您详细介绍五种常见的超高真空系统。首先，我们有扩散泵串联机械泵串联冷阱系统。该系统包括扩散泵、液氮冷阱、真空室、冷阱、电离真空计、电离真空计、扩散泵、前级管道阀、前级阱、机械泵等部件。该系统在400～450摄氏度下可以清除壁面上吸附的气体及凝结的泵油，可达到1.33×10-7Pa的极限真空...
超高真空系统类型有哪些?
首先是扩散泵系统。它由扩散泵串联机械泵以及冷阱等系统构成。扩散泵系统是获得超高真空的重要泵种，但是在获得超高真空的过程中要解决来自扩散泵油、机械泵油的返流污染以及油热分解产生的气体返流。其中泵油返流可以通过液氮冷阱来捕集，而泵油分解产生的气体需要用钛升华阱来捕集。污染控制较好的扩散...
超高真空的介绍
按照分子能量来分，真空空间可分为四种类型，近场真空、热真空、低温等离子体真空和高能粒子真空。粒子在每一种真空中飞行的平均能量分别为≤5 eV、≤O.3 eV、≤100 eV和≤40 TeV。在真空室中制得的核聚变等离子体，不属于低温等离子体(≥10 keV)。
一文了解超高真空\/极高真空的获得、应用、检测与注意事项
首先，理解不同真空等级的关键在于区分其压力范围：XHV（小于10^-12mbar），UHV（10^-7到10^-12mbar），HV（10^-3到10^-7mbar），它们分别对应地球同步轨道、高能物理实验和工业科研。在操作这些极端真空时，材料选择、腔体表面处理和除气过程至关重要。例如，选择蒸汽压低的材料，如玻璃、不锈钢和...
实际上,有没有一种泵能从大气工作到超真空? 谈谈你对实现真空度的离触...
现在市场上还没有一种泵能从大气工作到超真空，所以一套真空系统一般包括：粗抽泵，罗茨泵，前级泵和高真空泵（分子泵，扩散泵等）。虽然好像国外厂家的分子泵是可以抽大气的，但是一般是没有这样用，一般会给分子泵配一个前级泵，一般实现高真空的步骤：先用粗抽泵和罗茨泵抽一个低真空，一般在几...
超高真空技术
通常，超高真空系统由不锈钢腔体构成，通过刀口法兰的密封连接，通过无氧铜垫圈确保真空密封。多级泵组，如机械泵、分子泵、离子泵和钛泵，协同工作，将气体抽出并维持真空状态。机械泵如涡旋干泵，分子泵则能抽到10^-8 Pa的极低真空，而离子泵和钛泵则利用电离和升华原理，提供更高级别的真空环境。测量...
真空的真空分类
在实用上便利起见，人们常把真空度粗划为几个区域低真空10^5~10^2pa中真空10^2~10^-1 pa高真空10^-1~10^-5 pa超高真空＜10^-5 pa 一般的减压干燥与蒸馏是在低真空段的。冷冻干燥中食用品冷冻干燥在中真空段。冷冻干燥血液等生物制品及分子蒸馏在高真空段。在减压干燥中，真空度高，有利于...
超高真空的定义
按压力等级来分，真空类型分为低真空，中真空，高真空以及超高真空（UHV）。其中通常认为压力在以下的真空被称为超高真空。这也就是说单位体积内的分子数，只有正常大气压的1\/1,000,000,000,000。
低真空和超高真空有什么区别?
0~-0.1MPa属于低真空。按气体压强大小的不同，通常把真空范围划分为：1、低真空：1×105 ～1×102Pa。2、中真空：1×102~1×10-1Pa。3、高真空：1×10-1～1×10-5Pa。4、超高真空：1×10-5～1×10-9 Pa。5、极高真空：1×10-9Pa以下。
