水环式真空泵抽真空的问题

用该泵给设备抽真空时，是否有水汽进入设备？
我们对设备中水含量要求很高的，不允许有水汽存在
要求设备抽真空至100pa以下，现用旋片式真空泵，时间很长；厂家推荐采用两级抽真空：一级使用水环式真空泵，抽至1-2*104pa后，改用旋片真空泵。
可行否？

干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合。被抽气体在工作腔内有无压缩，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。

特别是在：

1）制药工业产品提纯及特殊干燥处理

2）溶解物的还原，如烘干、过滤、结晶及蒸馏处理工艺 

3）食品工业真空抽气处理 

4）饮料工业中的真空灌注 

5）抽气挤压机 

6）工艺气体的再循环 

7）同沸点混合物的真空分离 

8）高纯度气体注入之前的瓶内气体排空 

9）实验室中心抽真空及飞机制造厂实验室真空抽气 

10）所有与油发生反应的真空工艺过程