用在无尘室方面,最大真空900mbar(27ln.Hg), 最大压力5.4bar(80pslg);最大流速:34L/min(1.2CFM);重量:5Kg(11.7lbs);好像大多都要吃油的,我要的很小,只是吸附小器件。现在用的是津腾,达不到这个规格。找了个millipore 的,可以达到要求,不过有点贵。