微型隔膜泵的原理,简单的来说是:电机的圆周运动,通过机械装置使泵内部的隔膜做往复式运动,从而对固定容积的泵腔内的空气进行压缩、拉伸形成真空(负压),在泵抽气口处与外界大气压产生压力差,在压力差的作用下,将气体压(吸)入泵腔,再从排气口排出。示意图请见成都新为诚科技有限公司网站
虽然原理较简单,但要达到工业级的稳定性和可靠性,实现起来却有很大的难度。比如为了维持稳定的真空度,对泵的气密性等有很高的要求,在特殊的工艺和高科技技术保证下,“新为诚”微型真空泵的气密性比较高,有个数据可供参考: 10的负7次方帕立方米每秒。可以满足一些客户对气密性要求较高的应用:如实验室稀有气体的分析、检验、循环等。
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